角分辨光譜測量的測試結(jié)果能力的分辨
角分辨光譜測量儀是用于探測具備“角度依賴(angle-resolved)”特性物體的光學(xué)測量儀器。為了驗(yàn)證他的準(zhǔn)確性，我們采用標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行檢驗(yàn)。
SiO2鍍膜Si基底樣品是一種具有典型“角度依賴”反射率特性的樣品，可以作為一種常見的標(biāo)準(zhǔn)樣品，常常用來檢光譜型測橢偏儀的性能。因此，我們采用了單層膜結(jié)構(gòu)的鍍膜樣品作為驗(yàn)證的標(biāo)樣。
測試結(jié)果證明實(shí)用R1測試單層膜的P波和S波與理論計(jì)算結(jié)果吻合。
單層膜樣品的光譜反射率理論計(jì)算簡單，實(shí)際測量中，測試系統(tǒng)要求具備寬譜段覆蓋范圍(紫外到近紅外)；方便的偏振態(tài)控制；背反射(0度角)；高精度的角度控制等要求。以往情況，用戶需要采用昂貴的光譜型橢偏儀實(shí)現(xiàn)，現(xiàn)在可以采用R1可以輕松的實(shí)現(xiàn)這些功能。
角分辨光譜測量的典型應(yīng)用領(lǐng)域：
角分辨光譜測量的樣品在不同偏振態(tài)具有不同光譜特性，需要光譜測量系統(tǒng)具有各偏振的分辨能力。
薄膜光譜樣品具有能帶結(jié)構(gòu)，呈現(xiàn)光譜的各向異性，需要光譜測試系統(tǒng)具有精確的角度區(qū)分能力。
SPP/SPR表面等離子體具有敏感的光譜和角度依賴，需要光譜測試系統(tǒng)具有寬泛的光譜測量波段，和精確的角度分辨能力。
高集成度
可滿足多模式、全角度、寬譜段的角分辨光譜測試需求，具有超高性價(jià)比
良好的擴(kuò)展性
適配多波段偏振器件、濾光片等光學(xué)元件，可加載旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)支架，方便調(diào)節(jié)
自由調(diào)節(jié)樣品臺
五維精密調(diào)節(jié)樣品臺，能夠?qū)悠穼?shí)現(xiàn)各種維度的精確調(diào)節(jié)
